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Extreme ultraviolet lasers
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"New opportunities in interferometric lithography using extreme ultraviolet tabletop lasers"
(2009) Wachulak, P.W.;Urbanski, L.;Capeluto, M.G. (
...
)Marconi, M.C. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS. 8(2)
"Nanopatterning in a compact setup using table top extreme ultraviolet lasers"
(2008) Wachulak, P.W.;Capeluto, M.G.;Menoni, C.S. (
...
)Marconi, M.C. Opto-electronics Review. 16(4):444-450
"Nanoscale patterning in high resolution HSQ photoresist by interferometric lithography with tabletop extreme ultraviolet lasers"
(2007) Wachulak, P.W.;Capeluto, M.G.;Marconi, M.C. (
...
)Rocca, J.J. Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 25(6):2094-2097
"Nanopatterning and nanomachining with table-top extreme ultraviolet lasers"
(2006) Marconi, M.C.;Wachulak, P.W.;Capeluto, M.G. (
...
)Bloom, S. 2006 MRS Fall Meeting. 961:230-235
Facultad de Ciencias Exactas y Naturales - Universidad de Buenos Aires - Argentina
Intendente Güiraldes 2160 - Ciudad Universitaria - C1428EGA - Tel. (+54 9 11) 5285-7400
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