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Soft X-Ray Lasers and Applications VII
1
2007
1
"Interferometric lithography with sub-100-nm resolution using a tabletop 46.9-nm laser" (2007) Wachulak, P.W.;Patel, D.;Capeluto, M.G. (...)Marconi, M.C. Soft X-Ray Lasers and Applications VII. 6702