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1426
Applied Optics
1
"Design of a phase-shifting interferometer in the extreme ultraviolet for high-precision metrology"
(2014) Capeluto, M.G.; Marconi, M.C.; Iemmi, C.C. Applied Optics(7):1274-1283
Facultad de Ciencias Exactas y Naturales - Universidad de Buenos Aires - Argentina
Intendente Güiraldes 2160 - Ciudad Universitaria - C1428EGA - Tel. (54 11) 5285-8274
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