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Castez, M.F.; Fonticelli, M.H.; Azzaroni, O.; Salvarezza, R.C.; Solari, H.G. "Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling" (2005) Applied Physics Letters. 87(12):1-3
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Abstract:

In this work we discuss pattern-preserving growth during metal deposition from the vapor on micro/nano-structured metal substrates. Experimental results for Cu deposition on patterned Cu substrates show pattern preserving growth or pattern destruction depending on the incident angle. We introduce a mesoscopic 1+1 dimensional model including deposition flow (directed and isotropic), surface diffusion and shadowing effects that account for the experimental growth data. Moreover, simulations on post-deposition annealing, for high aspect-ratio patterns show departures from the predictions of the linear theory for surface diffusion. © 2005 American Institute of Physics.

Registro:

Documento: Artículo
Título:Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling
Autor:Castez, M.F.; Fonticelli, M.H.; Azzaroni, O.; Salvarezza, R.C.; Solari, H.G.
Filiación:Instituto de Investigaciones Fisicoquímicas Teóricas y Aplicadas (INIFTA), UNLP, CONICET, Casilla de Correo 16, Sucursal 4, (1900) La Plata, Argentina
Departamento de Física, Facultad de Ciencias Exactas y Naturales, Ciudad Universitaria, (1428) Buenos Aires, Argentina
Palabras clave:Annealing; Aspect ratio; Copper; Metals; Substrates; Surface chemistry; Vapors; Metal deposition; Pattern preserving deposition; Surface diffusion; Deposition
Año:2005
Volumen:87
Número:12
Página de inicio:1
Página de fin:3
DOI: http://dx.doi.org/10.1063/1.2053368
Título revista:Applied Physics Letters
Título revista abreviado:Appl Phys Lett
ISSN:00036951
CODEN:APPLA
Registro:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/paper/document/paper_00036951_v87_n12_p1_Castez

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  • Castez, M.F.,

Citas:

---------- APA ----------
Castez, M.F., Fonticelli, M.H., Azzaroni, O., Salvarezza, R.C. & Solari, H.G. (2005) . Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling. Applied Physics Letters, 87(12), 1-3.
http://dx.doi.org/10.1063/1.2053368
---------- CHICAGO ----------
Castez, M.F., Fonticelli, M.H., Azzaroni, O., Salvarezza, R.C., Solari, H.G. "Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling" . Applied Physics Letters 87, no. 12 (2005) : 1-3.
http://dx.doi.org/10.1063/1.2053368
---------- MLA ----------
Castez, M.F., Fonticelli, M.H., Azzaroni, O., Salvarezza, R.C., Solari, H.G. "Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling" . Applied Physics Letters, vol. 87, no. 12, 2005, pp. 1-3.
http://dx.doi.org/10.1063/1.2053368
---------- VANCOUVER ----------
Castez, M.F., Fonticelli, M.H., Azzaroni, O., Salvarezza, R.C., Solari, H.G. Pattern preserving deposition: Experimental results and modeling. Appl Phys Lett. 2005;87(12):1-3.
http://dx.doi.org/10.1063/1.2053368