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Obtention of thin polycrystalline silicon films from chlorosilanes in CVD reactors
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Benvenuto, Ariel Gastón; Schmidt, Javier Alejandro; Buitrago, Román Horacio "Obtención de películas delgadas de silicio policristalino a partir de clorosilanos en reactores de CVD". (2010). Anales AFA. 22(02): pp. 56-59