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Rava, D.; Ferrero, Hugo Eduardo; Fidalgo, Luis Enrique; Agüero, Mónica Beatriz; Hnilo, Alejandro Andrés; Kovalsky, Marcelo Gregorio "Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados" (2014). Anales AFA. 25(02): pp. 91-95

Resumen:

En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control

Abstract:

In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect

Registro:

Título:Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
Título alt:Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results
Autor:Rava, D.; Ferrero, Hugo Eduardo; Fidalgo, Luis Enrique; Agüero, Mónica Beatriz; Hnilo, Alejandro Andrés; Kovalsky, Marcelo Gregorio
Fecha:2014
Título revista:Anales AFA
Editor:Asociación Física Argentina
Handle: http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v25_n02_p091
Ciudad:Villa Martelli, Buenos Aires
Idioma:Español
Palabras clave:MICROMAQUINADO LASER; OBLEAS DE SILICIO; LASER DE ND:YAG
Keywords:LASER MICROMACHINING; SILICON WAFER; ND:YAG LASER
Año:2014
Volumen:25
Número:02
DOI:https://doi.org/10.31527/analesafa.2014.25.2.91
Título revista abreviado:An. (Asoc. Fís. Argent., En línea)
ISSN:1850-1168
Formato:PDF
PDF:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v25_n02_p091.pdf
Registro:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v25_n02_p091

Citas:

---------- APA ----------
Rava, D., Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés & Kovalsky, Marcelo Gregorio(2014). Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results. Anales AFA, 25(02), 91-95.https://doi.org/10.31527/analesafa.2014.25.2.91
---------- CHICAGO ----------
Rava, D., Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés, Kovalsky, Marcelo Gregorio "Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results" . Anales AFA 25, no. 02 (2014): 91-95.https://doi.org/10.31527/analesafa.2014.25.2.91
---------- MLA ----------
Rava, D., Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés, Kovalsky, Marcelo Gregorio "Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results" . Anales AFA, vol. 25, no. 02, 2014, pp. 91-95, https://doi.org/10.31527/analesafa.2014.25.2.91
---------- VANCOUVER ----------
Rava, D., Ferrero, Hugo Eduardo, Fidalgo, Luis Enrique, Agüero, Mónica Beatriz, Hnilo, Alejandro Andrés, Kovalsky, Marcelo Gregorio Nano and femtosecond solid state laser micromachining : comparison of results. An. (Asoc. Fís. Argent., En línea). 2014;25(02): 91-95 . Available from: https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v25_n02_p091