Se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi -blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blanco
In this paper the instructions for making “camera-ready” contributions to ANALES AFA are presented. This document can be found via Internet in the home pages of the Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires www.unicen.edu.ar/crecic/analesafa under the appropiate choice
Título: | Diseño y construcción de porta-blancos múltiple para un sistema de deposición por láser pulsado |
Título alt: | Desing and construction of multitarget holder for pulsed laser deposition system |
Autor: | Oliva, Marcos Iván; Zandalazini, Carlos Iván; Ferrero, Juan Carlos |
Fecha: | 2008 |
Título revista: | Anales AFA |
Editor: | Asociación Física Argentina |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v20_n01_p200 |
Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
Idioma: | Español |
Palabras clave: | PORTABLANCOS; PELICULAS DELGADAS; DEPOSICION; LASER PULSADO; PROPIEDADES MAGNETICAS |
Keywords: | MULTITARGET HOLDER; THIN FILMS; DEPOSITION; LASER PULSED |
Año: | 2008 |
Volumen: | 20 |
Número: | 01 |
Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
ISSN: | 1850-1168 |
Formato: | |
PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v20_n01_p200.pdf |
Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v20_n01_p200 |