El objetivo de este trabajo fue optimizar el diseño y operación de un equipo de descarga arco a baja presión para la producción de películas de dióxido de titanio. Se empleó una descarga arco continua de 100 A, realizada entre un cátodo de titanio y la cámara de vacío que actúa como ánodo. El sustrato se colocó en una subcámara que posee un sistema de evacuación independiente de la cámara principal de descarga, y que es conectada a la misma a través de un orificio. De esta forma se hizo circular O₂ sobre el sustrato, manteniendo una presión diferencial más elevada en la subcámara respecto de la cámara principal. Se realizaron series de recubrimientos sobre sustratos de diversos materiales variando la posición del sustrato y el caudal de entrada de oxígeno. Las muestras se analizaron por difracción de rayos X (XRD). El TiO₂ se presentó en fase amorfa. Luego de un tratamiento térmico se observaron las fases cristalinas anatase y rutile. Los recubrimientos con mayor proporción de TiO₂ se obtuvieron sobre los sustratos ubicados mas cerca de la cámara principal (y del cátodo) y trabajando con flujos de oxígeno de aproximadamente 20 cm³/min
The aim of this work was to optimize the design of a low pressure DC arc device for the production of TiO₂ thin films. The arc was run with a current of 100 A between a titanium cathode and a vacuum chamber used as a grounded anode. The substrate was located in a new additional chamber which has an independent connection to the vacuum system. The chambers were connected with a small hole. Oxygen was injected in the new chamber, so discharge chamber pressure stayed lower than in the substrate chamber. Coatings obtained on different substrate materials and under different conditions (varying substrate position and oxygen flow rate) were studied. The films have been analyzed by X-ray diffraction (XRD). All films were amorphous, but phase transitions (amorphous to anatase, anatase to rutile) were observed after annealing process. The largest proportion of TiO₂ on the films was obtained with an oxygen flow rate of 20 cm³/min and when the substrate was located closer to the cathode
| Título: | Optimización de una descarga arco para la obtención de films de TiO₂ |
| Autor: | Della Torre, Horacio Armando; Grondona, Diana Elena; Kleiman Ariel Javier; Lamas, Diego Germán; Marquez, Adriana Beatriz |
| Fecha: | 2004 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v16_n01_p128 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 2004 |
| Volumen: | 16 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v16_n01_p128.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v16_n01_p128 |
