Este trabajo presenta una caracterización del flujo iónico generado por un arco continuo filtrado magnéticamente y operado en vacío. El equipo incluye una cámara de descarga (donde se genera un plasma metálico), acoplada a una cámara de deposición (donde se coloca un substrato) mediante un filtro magnético en forma de cuarto de toroide. El arco se realiza entre un cátodo cilíndrico y un ánodo anular refrigerados con agua, ambos de Cobre, con una corriente continua de 100 A. El filtro consiste en un cilindro de acero inoxidable doblado a 90º y con paredes corrugadas, de 500 mm de largo y 100 mm de diámetro interno, rodeado de bobinas generadoras de campo magnético. La intensidad de este campo es suficiente para magnetizar los electrones pero no los iones, y su máximo valor es ~ 260 G en el codo del filtro. Además el sistema cuenta con la posibilidad de polarizar el filtro toroidal mediante una fuente d-c independiente. Se presentan las mediciones de los potenciales flotantes del filtro y del plasma, y la corriente iónica colectada por sondas en diferentes posiciones en función del campo magnético y del potencial de polarización del filtro
This work presents an ion flux characterization generated by a magnetically filtered d-c vacuum arc. The device includes a metallic plasma-generating chamber coupled to a substrate chamber through a quarter-torus magnetic filter. The arc is produced between a cylindrical cathode and an annular anode (both copper water-cooled electrodes), and it is operated at a current level of 100 A. The filter consists in a stainless steel cylinder 500 mm length and 100 mm inner diameter with a 90o bending angle and corrugated lateral wall, surrounded by a magnetic field generating coil. The magnetic field intensity is enough high so as to magnetize the electrons but not the ions, and its maximum value is ~260 G at the knee of the filter. The system has the possibility of biasing the toroidal filter by using an independent d-c source. The floating potentials of the filter and the plasma, and the ion current collected by probes located at different positions as functions of the magnetic field intensity and the bias filter potential are reported
| Título: | Estudio del plasma dentro de un filtro magnético en vacío |
| Autor: | Kelly, Héctor Juan; Márquez, Adriana Beatriz; Pirrera, Mónica Beatriz |
| Fecha: | 2004 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v16_n01_p113 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 2004 |
| Volumen: | 16 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v16_n01_p113.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v16_n01_p113 |
