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Resumen:

En este trabajo se analizan los cambios topográficos producidos en superficies de Al policristalino irradiadas con iones de Ar. En particular, se estudiaron los cambios ocurridos cuando se irradia con proyectiles de 5 y 20 keV para distintas condiciones de incidencia rasante a. Se observó una disminución de la rugosidad de la superficie en la dirección paralela a la incidencia del haz a medida que se disminuye a. La rugosidad no presenta cambios significativos cuando se disminuye la energía de los proyectiles de 20 keV a 5 keV para ángulos de incidencia comprendidos entre 3° y 9°, y dosis de irradiación constante (D=9x10¹⁵ iones/cm²). Por último se estudiaron los cambios topográficos de las superficies cuando se incide con un a fijo y se varía la dosis de irradiación entre 2.25x10¹⁵ iones/cm2 y 20x10¹⁵ iones/cm², observándose una disminución de la rugosidad a medida que se aumenta la dosis

Abstract:

We studied the topographical changes on polycrystalline Al surfaces induced by 5 and 20 keV grazing Ar⁺ bombardment. At grazing incidence conditions the mechanism responsible for modification of surface topography is sputtering. The initial roughness of the surfaces (mechanical polished) can be removed by grazing Ar⁺ bombardment in the direction parallel to the beam path. For both studied energies (5 and 20 keV), this phenomenon is more important for low incidence angles and high doses

Registro:

Título:Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico
Autor:Otero, Gonzalo; Sánchez, Esteban Alejandro
Fecha:2002
Título revista:Anales AFA
Editor:Asociación Física Argentina
Handle: http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v14_n01_p176
Ciudad:Villa Martelli, Buenos Aires
Idioma:Español
Año:2002
Volumen:14
Número:01
Título revista abreviado:An. (Asoc. Fís. Argent., En línea)
ISSN:1850-1168
Formato:PDF
PDF:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v14_n01_p176.pdf
Registro:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v14_n01_p176

Citas:

---------- APA ----------
Otero, Gonzalo & Sánchez, Esteban Alejandro(2002). Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico. Anales AFA, 14(01), 176-179.
---------- CHICAGO ----------
Otero, Gonzalo, Sánchez, Esteban Alejandro. "Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico" . Anales AFA 14, no. 01 (2002): 176-179.
---------- MLA ----------
Otero, Gonzalo, Sánchez, Esteban Alejandro. "Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico" . Anales AFA, vol. 14, no. 01, 2002, pp. 176-179.
---------- VANCOUVER ----------
Otero, Gonzalo, Sánchez, Esteban Alejandro. Estudios de los cambios topográficos en superficies producidos por bombardeo iónico. An. (Asoc. Fís. Argent., En línea). 2002;14(01): 176-179 . Available from: https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v14_n01_p176