Resumen:

Se estudiaron las propiedades ópticas, eléctricas y estructurales de láminas de ZnO:Al (óxido de zinc dopado con aluminio), preparadas por la técnica de erosionado catódico de radio frecuencia, depositadas sobre vidrio y utilizando Ar como gas de reacción. Los filmes presentan estructura cristalina hexagonal con crecimiento preferencial en el plano c. El tamaño de grano y la textura superficial dependen de la temperatura del sustrato. Los espectros de difracción de rayos X de las películas delgadas permiten observar un incremento en el tamaño de grano y en la cristalinidad al aumentar la temperatura de deposición, pero la resistividad crece. Se observa lo contrario, es decir la resistividad disminuye, si se incrementa el contenido de Al. Se estudió el efecto de la estequiometría del compuesto incorporando oxígeno al gas de reacción. Los filmes presentan mayor transmisión óptica pero la resistividad aumenta notablemente, esto prueba que el oxígeno satura las vacancias en el ZnO:AI. Para evaluar la calidad optoelectrónica del film, se usó una figura de mérito Y definida como una relación entre la transmitancia óptica aproximada en el rango de longitudes de onda de 400-800 nm y la resistividad, ᴪ = -1/p ln Tᵣ ·

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