Se depositaron películas delgadas superconductoras de YBa₂Cu₃O₇ (YBCO), utilizando la técnica de deposición por láser pulsado (PLD: Pulsed Laser Deposition), sobre substratos monocristalinos de SrTiO₃, MgO y Si con orientación (100). La utilización de estas películas en dispositivos electrónicos requiere de un buen control del crecimiento epitaxial y de la calidad de la microestructura. En este trabajo se estudió la influencia de la presión de oxígeno durante el crecimiento, sobre la topografia de la superficie, el grado de orientación y la microestructura de las películas en relación con las propiedades de transporte de las mismas. Se utilizó un láser excímero (XeCl -308 nm) pulsado con una frecuencia de 4 Hz. Para el análisis de la microestructura de las películas se utilizaron las técnicas de Difracción de Rayos X (DRX), Microscopía Electrónica de Barrido (MEB) y Microscopía de Fuerza Atómica (MFA). Los resultados muestran una correlación entre la microestructura y las propiedades superconductoras, encontrándose un valor óptimo de presión de oxígeno en la cámara durante el crecimiento.
YBCO superconducting films were deposited by (XeCl -308 nm) pulsed laser deposition on (100)-oriented SrTiO₃ MgO, and Si single crystal substrates. Control of the YBCO thin film epitaxial growth and microstructure quality are important factors for superconducting electronic device applications. In this aim, we studied the influence of the oxygen pressure during the growth, the distance between target-substrate and substrate structure on the degree of structural orientation and surface quality of the films. XRD, SEM and AFM techniques were used to make comparative studies of microstructure with transport properties of the films.
| Título: | Estructura de películas delgadas superconductoras de YBaCuO preparadas por PLD (deposición por láser pulsado) |
| Autor: | Villafuerte, Manuel José; Duhalde, Stella Maris; Schwartzman, Ariel Gustavo; Paissan, Gabriel; Lamagna, Alberto; Correra, Luigi |
| Fecha: | 1997 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v09_n01_p399 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 1997 |
| Volumen: | 09 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v09_n01_p399.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v09_n01_p399 |
