En este trabajo se muestra que la corriente de túnel a través del aislante de puerta de una estructura Al-SiO₂Si con carga atrapada en el óxido, puede ser descripta por una expresión del tipo Fowler-Nordheim modificada, donde el campo catódico es reemplazado por la pendiente de la barrera de potencial a la energía correspondiente al nivel de Fermi en el cátodo. La carga atrapada en el aislante se considera uniformemente distribuida y su valor se deduce a partir del corrimiento de la tensión de bandas planas
In this work it is shown that the tunneling current through the gate insulator of an Al-SiO₂-Si structure with trapped charge within the oxide, can be described by a modified Fowler-Nordheim expression, where the cathode field is substituted by the slope of the potential barrier at the energy corresponding to the Fermi level at the cathode. The trapped charge at the insulator is considered to be uniformly distributed and its value is calculated from the flat band voltage shift
| Título: | Túnel Fowler-Nordheim en estructuras MOS con carga atrapada en el aislante |
| Autor: | Miranda, Enrique A.; Redin, Eduardo Gabriel; Faigón, Adrián Néstor |
| Fecha: | 1995 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v07_n01_p213 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 1995 |
| Volumen: | 07 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v07_n01_p213.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v07_n01_p213 |
