En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituído por una capa dieléctrica de Al₂O₃ entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada
| Título: | Sensores de humedad de película delgada |
| Autor: | Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Sendra, C.; Zimmerman, Rosa |
| Fecha: | 1990 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v02_n01_p277 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 1990 |
| Volumen: | 02 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v02_n01_p277.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v02_n01_p277 |