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Faigón, Adrián Néstor; Stravoni, A.; Miranda, Enrique A.; Redin, Eduardo Gabriel "Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S." (1990). Anales AFA. 02(01): pp. 252-257

Resumen:

Se investigó la degradación de películas delgadas de óxido de silicio nitrurado en plasma de amonia, incorporadas como aislante de grilla en estructuras Metal Óxido Semiconductor sometidas a inyección de carga por efecto túnel. Comparando con resultados obtenidos sobre películas de SiO₂ de tecnología standard, se observa una tasa de creación de trampas inferior por un factor 2 y una creación de estados superficiales en la interface con el silicio menor por un orden de magnitud

Registro:

Título:Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S.
Autor:Faigón, Adrián Néstor; Stravoni, A.; Miranda, Enrique A.; Redin, Eduardo Gabriel
Fecha:1990
Título revista:Anales AFA
Editor:Asociación Física Argentina
Handle: http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v02_n01_p252
Ciudad:Villa Martelli, Buenos Aires
Idioma:Español
Año:1990
Volumen:02
Número:01
Título revista abreviado:An. (Asoc. Fís. Argent., En línea)
ISSN:1850-1168
Formato:PDF
PDF:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v02_n01_p252.pdf
Registro:https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v02_n01_p252

Citas:

---------- APA ----------
Faigón, Adrián Néstor, Stravoni, A., Miranda, Enrique A. & Redin, Eduardo Gabriel(1990). Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S.. Anales AFA, 02(01), 252-257.
---------- CHICAGO ----------
Faigón, Adrián Néstor, Stravoni, A., Miranda, Enrique A., Redin, Eduardo Gabriel. "Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S." . Anales AFA 02, no. 01 (1990): 252-257.
---------- MLA ----------
Faigón, Adrián Néstor, Stravoni, A., Miranda, Enrique A., Redin, Eduardo Gabriel. "Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S." . Anales AFA, vol. 02, no. 01, 1990, pp. 252-257.
---------- VANCOUVER ----------
Faigón, Adrián Néstor, Stravoni, A., Miranda, Enrique A., Redin, Eduardo Gabriel. Creación de trampas y estados de interfase en películas delgadas de oxinitruro de silicio en estructuras M.O.S.. An. (Asoc. Fís. Argent., En línea). 1990;02(01): 252-257 . Available from: https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v02_n01_p252