Sensores de temperatura de película delgada

Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Zimmerman, Rosa

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Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Zimmerman, Rosa "Sensores de temperatura de película delgada" (1989). Anales AFA. 01(01): pp. 336-338

http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336

Resumen:

Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos

Registro:

Título:	Sensores de temperatura de película delgada
Autor:	Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Zimmerman, Rosa
Fecha:	1989
Título revista:	Anales AFA
Editor:	Asociación Física Argentina
Handle:	http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336
Ciudad:	Villa Martelli, Buenos Aires
Idioma:	Español
Año:	1989
Volumen:	01
Número:	01
Título revista abreviado:	An. (Asoc. Fís. Argent., En línea)
ISSN:	1850-1168
Formato:	PDF
PDF:	https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v01_n01_p336.pdf
Registro:	https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v01_n01_p336

Citas:

---------- APA ----------

Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando & Zimmerman, Rosa(1989). Sensores de temperatura de película delgada. Anales AFA, 01(01), 336-338.

---------- CHICAGO ----------

Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando, Zimmerman, Rosa. "Sensores de temperatura de película delgada" . Anales AFA 01, no. 01 (1989): 336-338.

---------- MLA ----------

Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando, Zimmerman, Rosa. "Sensores de temperatura de película delgada" . Anales AFA, vol. 01, no. 01, 1989, pp. 336-338.

---------- VANCOUVER ----------

Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando, Zimmerman, Rosa. Sensores de temperatura de película delgada. An. (Asoc. Fís. Argent., En línea). 1989;01(01): 336-338 . Available from: https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v01_n01_p336