Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos
Título: | Sensores de temperatura de película delgada |
Autor: | Broitman, Esteban Daniel; Latorre, Daniel Fernando; Zimmerman, Rosa |
Fecha: | 1989 |
Título revista: | Anales AFA |
Editor: | Asociación Física Argentina |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336 |
Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
Idioma: | Español |
Año: | 1989 |
Volumen: | 01 |
Número: | 01 |
Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
ISSN: | 1850-1168 |
Formato: | |
PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v01_n01_p336.pdf |
Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v01_n01_p336 |