Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un ánodo contorneado, con una sección efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionización UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas últimas, descargas de bombeo volumétricamente homogéneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estándar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emisión láser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operación
| Título: | Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona |
| Autor: | Mazzinghi, Piero; Vannini, M.; Salimbeni, Renzo; Pini, Roberto; Guasti, Andrea; Niedbalski, Jorge Julio |
| Fecha: | 1989 |
| Título revista: | Anales AFA |
| Editor: | Asociación Física Argentina |
| Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p153 |
| Ciudad: | Villa Martelli, Buenos Aires |
| Idioma: | Español |
| Año: | 1989 |
| Volumen: | 01 |
| Número: | 01 |
| Título revista abreviado: | An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |
| ISSN: | 1850-1168 |
| Formato: | |
| PDF: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/download/afa/afa_v01_n01_p153.pdf |
| Registro: | https://bibliotecadigital.exactas.uba.ar/collection/afa/document/afa_v01_n01_p153 |
